给电极上涂层
目标：在真空中无杂质地条件下给电极上涂层复合物
费斯托解决方案：通过用于腐蚀性介质的阀控制介质流和气体
费斯托解决方案：通过用于腐蚀性介质的阀控制介质流和气体
夹管阀 VZQA
自由流动介质 – 可以忽略不计的流动阻力，无堵塞
- 同样适用于高粘度或腐蚀性介质
- 无需特殊工具就可快速、简单地更换密封阀芯
3 通型球阀 VZBA
用于无故障控制腐蚀性介质或气体
- 带 T 型孔，用于混合几种介质；带 L 型孔，用于通过一个球阀开关两个介质回路
- 由于 L 型孔只需要一个球阀而不是两个，因而降低了成本
电磁阀 VZWx
直动式电磁阀 VZWD：适用于高压和计量等应用场合
强制先导工作电磁阀 VZWF：即使在闭合的介质回路中也可实现无压差工作
伺服控制电磁阀 VZWP：采用密封活塞替代膜片 – 通过大公称通径控制最高 40 bar 的高压
角座阀 VZXF
- 适用于开放或闭合回路中的液体介质或粘度最高 600 mm²/s 的气体介质
- 耐高温、不锈钢结构，常闭功能，用于出现压降时可靠关断
