通过按键可靠精确控制三种预设模式
过程可靠性：多传感器控制，集成传感器，多级控制回路确保稳固的控制响应，用于最佳的表面光洁度
模块化系统：适用于所有应用场合
阀岛 CPX/MPA
功能集成：诊断和状态监控功能集成在一个阀岛上
系统有效性更高、生产力提高
过程可靠性更高
集成简单、连续的解决方案
不间断地监控耗气量：流量传感器SFAM
流量大，结构紧凑
起始测量点为满量程的 1%
可作为单个设备独立工作或与 MS 系列气源处理装置完美组合
可靠便捷：绝对值流量信息，带阈值，明亮的显示屏便于读取数据和调节切换点
多种流量，适用于不同的应用场合
