1. IGBT简介
IGBT,全称绝缘栅双极型晶体管(Insulated Gate Bipolar Transistor),是一个结合了MOSFET(金属氧化物半导体场效应晶体管)和BJT(双极型晶体管)特点的复合器件。IGBT既不是纯粹的MOSFET,也不是纯粹的BJT,而是两者的优势融合。IGBT通过MOSFET的栅极电压控制BJT的导通与关断,从而实现了高输入阻抗和大电流的特点。MOSFET的栅极电压控制提供了低驱动功率,而BJT的双载流子特性则实现了低导通压降。
2. 传统MOSFET
为了理解IGBT,我们先来探讨一下功率MOSFET(Power MOSFET)的结构和工作原理。
高电压:为了实现高电压,Power MOSFET采用了特殊的结构。Gate端通过场氧垫隔离与漏极的距离,Bulk端的PN结击穿通过降低PN结两边的浓度来防止,而Source端则需要一个长长的漂移区来作为漏极串联电阻分压。
大电流:Power MOSFET的沟道长度由两次扩散的结深差来控制,可以做得很小且不受光刻精度的限制。器件的电流取决于宽度与长度的比例(W/L),因此要提高电流,只需要提高宽度(W)即可。
结构:Power MOSFET也叫做LDMOS(横向双扩散MOS),但由于其源、栅、漏三端都在表面,因此漏极与源极之间需要较大的间距。
虽然Power MOSFET能够实现大功率要求,但它仍然有其固有的缺点,如源、栅、漏三端都在表面,导致漏极与源极需要较大的间距。而IGBT的出现,正是为了克服这些缺点,提供更高效、更可靠的解决方案。
3. IGBT结构与原理
1)IGBT的基本结构
IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor,绝缘栅双极型晶体管)从结构上看,与Power MOSFET非常接近,但在其背面的漏电极增加了一个P+层,我们称之为Injection Layer。这个P+层的引入,使得IGBT在导通时,除了MOSFET的电子外,还能从漏端注入空穴,从而实现两种载流子(电子和空穴)参与导电,大大提高了其电流驱动能力。
2)IGBT工作原理
导电机制:IGBT在导通时,电子从源极(Source)注入,并通过MOSFET的沟道流向漏极(Drain)。同时,由于P+层的存在,空穴从漏极注入并参与导电,形成类似于BJT(双极型晶体管)的导电机制。
Latch-up问题:由于IGBT的结构类似于PNPN的Thyristor(晶闸管),存在潜在的Latch-up问题。为了避免Latch-up,需要控制Rs,使得α1+α2<1。
关断特性:当IGBT关断时,沟道很快关断,多子电流消失。但由于空穴的注入效应,Collector(Drain)端仍有少子空穴注入,导致器件的电流需要慢慢才能关闭(拖尾电流)。为了提高关断频率,引入了PT-IGBT(Punch Through型)结构,在P+与N-drift之间加入N+buffer层,使空穴在N+buffer层迅速复合。
3)IGBT类型
NPT-IGBT:没有N+buffer层的IGBT。由于其P+衬底较薄,空穴注入较少,因此NPT-IGBT通常具有正温度系数。
PT-IGBT:在P+与N-drift之间加入N+buffer层的IGBT。PT-IGBT的关断频率更高,但Vce(sat)(饱和压降)通常较NPT-IGBT高。
4. IGBT新技术
随着电力电子技术的不断发展,IGBT(绝缘栅双极型晶体管)也在持续进化,以满足日益增长的高功率和高效率需求。以下是两种IGBT的新技术:
1)场截止FS-IGBT
传统的PT-IGBT和NPT-IGBT结构在追求高功率时都面临一定的挑战。为了降低Vce(sat)和Ron(导通电阻),需要减少N-drift层的厚度。然而,N-drift层太薄容易导致沟道穿通。为了解决这个问题,FS-IGBT(场截止FS-IGBT)技术应运而生。
FS-IGBT在P+注入层与N-drift层之间引入了一个N+场截止层(Field Stop, FS)。当IGBT处于关闭状态时,电场在截止层内迅速降低到0,从而有效限制了N-drift层的厚度,进一步降低了Ron和Vce。此外,这种结构与PT-IGBT中的N+ buffer层类似,也能有效抑制关闭状态下的拖尾电流,提高关闭速度。
与PT-IGBT相比,FS-IGBT的制作工艺更为简单且成本较低。它是在NPT-IGBT的基础上直接在背面打入高浓度的N+截止层,而PT-IGBT则需要通过两层外延生长(EPI)工艺来制作N+ buffer和N-Drift层,成本较高。
2)阳极短接(SA: Shorted-Anode)技术
阳极短接技术通过在N+集电极中间歇插入P+集电极来实现。这样,N+集电极可以直接接触场截止层并用作PN二极管的阴极,而P+集电极则继续作为FS-IGBT的集电极。这种结构不仅增强了电流特性,还改变了成本结构,因为不再需要共封装反并联二极管。
实验证明,采用阳极短接技术的IGBT可以提高饱和电流并降低饱和压降约12%。这为高功率应用提供了更为高效和经济的解决方案。